快恢復二極管濕度傳感器工作原理
快恢復二極管濕度傳感器工作原理恢復二極管濕度傳感器構造與原理:大家都知道快恢復二極管濕度傳感器主要由強化型MOS FET與具感濕性樹脂膜所構成,我們把這種稱之為CFT(Charge flow transistor)Si快恢復二極管濕度傳感器。在閘極端邊側有一層感濕膜,是一種高阻抗膜如PAPA (Polyamino Phenylacetylene),因水蒸氣而使阻抗減低的物質。
Charge flow transistor(CFT)的截面構造:由于傳感器的工作原理,CFT 的閘極(gate)不加電源,漏極(drain)與源極(source)成高阻抗,即開路狀態。將閘極開關切入,閘極變成正電位,正電荷開始向感濕樹脂膜擴散,而對應的Si 快恢復二極管中將感應負電荷。經過一段時間后正電荷擴散至全部樹脂膜,而負電荷亦在Si 快恢復二極管中形成,于是漏、源極間阻抗變小,FET 導通。而樹脂膜擴散正電荷的能力和濕度有關,濕度高擴散力愈強,相對的感應的負電荷亦提高,于是漏源極的阻抗將降的更低。
所以,在CFT在使用時,一般情況下都會將它做成兩個反相器構成振蕩器,這樣才能快速的將相對濕度轉換成量化頻率。另外,CFT 體積很小,所以可以和測濕度不可或缺的溫度傳感器,做在同一塊基板上。